等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)/去膠機(jī)

簡(jiǎn)要描述：PLUTO-30型等離子清洗機(jī),等離子處理機(jī),等離子去膠機(jī)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶的靈活性。

產(chǎn)品型號(hào)：PLUTO-30型
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2025-06-11
訪問(wèn) 量：2883

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小型等離子清洗機(jī)

實(shí)驗(yàn)室小型等離子清洗機(jī) 定制型等離子清洗機(jī)

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品牌	PLUTOVAC

　　PLUTO-30 等離子體材料表面處理系統(tǒng)

　　中小型 量產(chǎn)級(jí) 多功能

　　PLUTO-30型等離子清洗機(jī),等離子處理機(jī),等離子去膠機(jī)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶的靈活性。

PLUTO-30型等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)/去膠機(jī)特征及優(yōu)勢(shì)

　　氣體輸送系統(tǒng)，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

　　不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置

　　射頻系統(tǒng)提供的工藝重復(fù)性和處理效率

　　全自動(dòng)處理能力

　　圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動(dòng)流程并提供實(shí)時(shí)流程信息

　　臺(tái)式設(shè)計(jì)需要較小的占地面積

　　典型應(yīng)用

　　表面活化

　　提高表面能量以提高材料粘合性：預(yù)壓模粘合；預(yù)焊線粘合

　　增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性：預(yù)成型；預(yù)倒裝芯片下溢

　　表面粗糙度和蝕刻

　　降低表面應(yīng)力，改善表面粘結(jié)性

　　灰化和表面清潔

　　Plasma等離子蝕刻（配備RIE配置)

　　電介質(zhì)/III-IV材料

　　納米涂層（配備液體前體輸送裝置）

　　耐水納米涂層：印刷電路板表面處理

　　防腐納米涂層：醫(yī)療器械，醫(yī)療植入物

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