等離子體表面處理儀/清洗機

簡要描述：PLUTO-160等離子體表面處理儀，等離子清洗機是一款為工業(yè)級客戶和研發(fā)型客戶使用需求設(shè)計的寬泛使用等離子表面處理設(shè)備，適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應(yīng)用，設(shè)備可在嚴苛環(huán)境下穩(wěn)定運行，獲得高度均一的使用效果。

產(chǎn)品分類

Product classification

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詳細介紹

　　PLUTO-160等離子體表面處理儀/清洗機產(chǎn)品特點：

　　• 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性

　　• 靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案，確保大批量處理的均勻性

　　• PLC與工控機提供穩(wěn)定的過程控制，設(shè)備運行的實時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)

　　• 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠，易于保養(yǎng)與維護

　　標準腔體電極為平行板電極結(jié)構(gòu)，通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果

　　最多支持擴展至8片電極

　　每對電極間為獨立空間

　　批處理電極改變了標準的平行板電極結(jié)構(gòu)

　　通過優(yōu)化的電場和進氣設(shè)計實現(xiàn)對magazi和boat等載具內(nèi)產(chǎn)品的均勻處理。

PLUTO-160等離子體表面處理儀/清洗機應(yīng)用：

• 表面清潔與活化

　　• 表面有機污染物與金屬氧化物的去除

　　• 增強表面膠體流動性，消除涂層分層

　　• 提升表面能，實現(xiàn)難粘材料的有效結(jié)合

　　• 表面粗化及微刻蝕

　　• 納米級表面粗化，應(yīng)力釋放

　　• 光刻膠、殘膠的去除

　　• 對多種材料的選擇性刻蝕

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